國(guó)內(nèi)硅烷氣項(xiàng)目建設(shè)有了新進(jìn)展。“我們和高校合作研發(fā)的年產(chǎn)3000噸硅烷氣項(xiàng)目二期工程已于6月25日試車(chē)投產(chǎn)，目前運(yùn)行平穩(wěn)且達(dá)產(chǎn)達(dá)標(biāo)，產(chǎn)品純度99.999999%，主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)接近或達(dá)到國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品指標(biāo)要求。”7月13日，中國(guó)平煤神馬集團(tuán)河南硅烷科技發(fā)展股份有限公司發(fā)布了這一信息。

　　該項(xiàng)目的建成達(dá)產(chǎn)標(biāo)志著平煤神馬集團(tuán)高純度硅烷大規(guī)模生產(chǎn)技術(shù)獲得突破，結(jié)束了國(guó)內(nèi)高純度硅烷產(chǎn)品全部依靠進(jìn)口的歷史，該公司也成為全國(guó)唯一一家擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)成套工業(yè)化硅烷生產(chǎn)技術(shù)的企業(yè)。

　　“我們采用硅烷法實(shí)現(xiàn)高純度硅烷氣的工業(yè)化生產(chǎn)，解決了國(guó)外鎂硅法、氟硅法等傳統(tǒng)硅烷氣技術(shù)難以大規(guī)模生產(chǎn)以及成本高、排放大等難題，生產(chǎn)成本較國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品低30%以上。”硅烷科技公司董事長(zhǎng)蔡前進(jìn)介紹說(shuō)。

　　該項(xiàng)目的落地單位、許昌首山化工科技有限公司董事長(zhǎng)楊紅深表示，年產(chǎn)3000噸硅烷氣項(xiàng)目二期工程項(xiàng)目總投資10億元，項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后，平煤神馬高純度硅烷年產(chǎn)能達(dá)到3600噸，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率可達(dá)40%左右。

　　該項(xiàng)目技術(shù)由上海交通大學(xué)化學(xué)化工學(xué)院長(zhǎng)江學(xué)者肖文德教授領(lǐng)銜研發(fā)。2009年，肖文德教授以多功能反應(yīng)器為基礎(chǔ)，開(kāi)創(chuàng)性地提出了基于三氯氫硅的硅烷生產(chǎn)技術(shù)。該技術(shù)使原本轉(zhuǎn)化率為0.1%的反應(yīng)可以實(shí)現(xiàn)接近100%的轉(zhuǎn)化率，并在實(shí)驗(yàn)室獲得了99.99%的硅烷產(chǎn)品。2010年12月，平煤神馬與上海交通大學(xué)簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議，共同開(kāi)發(fā)硅烷法多晶硅技術(shù)，并在2012年5月組建河南硅烷科技發(fā)展股份有限公司，依托許昌首山焦化煤焦循環(huán)經(jīng)濟(jì)鏈條研發(fā)高純度硅烷產(chǎn)品。

　　2014年10月，一期工程年產(chǎn)600噸硅烷氣的生產(chǎn)線成功投產(chǎn)，硅烷氣純度達(dá)8N級(jí)，平煤神馬在國(guó)內(nèi)率先擁有成套工業(yè)化硅烷生產(chǎn)技術(shù)，也成為全球第五家擁有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)的硅烷生產(chǎn)企業(yè)。隨后，二期工程年產(chǎn)3000噸硅烷氣項(xiàng)目于2016年7月開(kāi)工建設(shè)。

　　“下一步，我們還將投資50億元，建設(shè)三期工程——年產(chǎn)1.5萬(wàn)噸高純硅烷氣、1500噸電子級(jí)多晶硅和1000噸區(qū)熔級(jí)多晶硅項(xiàng)目，力爭(zhēng)到2020年產(chǎn)值規(guī)模達(dá)到100億元、利稅總額20億元，成為該領(lǐng)域具有國(guó)際影響力的科技創(chuàng)新企業(yè)。”楊紅深說(shuō)。

　　據(jù)了解，我國(guó)電子和大規(guī)模集成電路行業(yè)的芯片進(jìn)口總額去年高達(dá)2300億美元。其中一個(gè)重要原因是缺乏高純度晶體硅材料，而生產(chǎn)高純晶體硅必須以高純硅烷為基礎(chǔ)。硅烷既可用于制造大規(guī)模集成電路芯片，又可用于生產(chǎn)多晶硅，經(jīng)濟(jì)效益很高。

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